Für die Messungen standen zwei verschiedene Mikroskope zur Verfügung, das Joel JSM 6300F der Firma Joel, Japan, und das LEO Gemini 1530 von LEO, Oberkochen. Das LEO Gemini besitzt im Gegensatz zum Joel JSM einen Inlensdetektor, der senkrecht über der Probe angeordnet ist. Mit Hilfe dieses Detektors ist ein sehr kurzer Abstand zwischen Probe und Detektor möglich, so daß man Bilder mit einer hohen Auflösung und einer guten Tiefenschärfe erhalten kann.
Zur Erhöhung der Aufnahmequalität und zur Verbesserung der Leitfähigkeit der Proben wurden diese mit einer dünnen Platinschicht bedampft, welche keinen Einfluß auf die Oberflächenstruktur hat. Gold kommt zur Bedampfung dieser Proben nicht in Frage, da es aufgrund seiner Größe bei den verwendeten Auflösungen stark stören würde.